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技術(shù)文章

TECHNICAL ARTICLES

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  • 202411-15
    半導(dǎo)體制造:晶圓片在線面掃檢測儀的作用與價值

    在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,質(zhì)量控制是確保芯片性能和可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。隨著技術(shù)的發(fā)展,晶圓片在線面掃檢測儀成為了這一過程中不可或缺的工具。晶圓片在線面掃檢測儀是一種高精度的檢測系統(tǒng),專門用于監(jiān)測晶圓片表面的微小缺陷。這些缺陷可能包括顆粒污染、劃痕或圖案不完整等,它們都可能影響最終產(chǎn)品的性能。通過實(shí)時監(jiān)測,該設(shè)備能夠及時發(fā)現(xiàn)問題并反饋給生產(chǎn)線,從而避免不良品的產(chǎn)生。該檢測儀基于光學(xué)掃描技術(shù)。一束激光或強(qiáng)光被引導(dǎo)至晶圓片表面,并通過高分辨率的攝像頭捕捉反射回來的光線。如果晶圓片表面存在任何...

  • 202411-13
    應(yīng)用分享 | 氬離子設(shè)備 (XPS、PHI710、TOF-SIMS)

    氬離子設(shè)備對于表面分析,樣品表面極易被污染。為了清潔被污染的固體表面,在能譜分析中,常常利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束對樣品表面進(jìn)行濺射剝離,以清潔表面。利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束定量地剝離一定厚度的表面層,然后再分析表面成分,這樣就可以獲得元素成分沿深度方向的分布圖。同時,離子設(shè)備也兼具中和樣品表面荷電的作用。一、氬離子設(shè)備原理圖▲圖1氬離子設(shè)備原理圖二、氬離子設(shè)備實(shí)圖▲圖2氬離子設(shè)備圖三、氬離子設(shè)備主要作用清潔(樣品表面被污染)清潔被污染的樣品表面,利用離子設(shè)備發(fā)出的離子束對樣品...

  • 202411-5
    揭秘物質(zhì)內(nèi)部結(jié)構(gòu),X射線三維顯微鏡的跨領(lǐng)域影響力

    在現(xiàn)代科學(xué)研究和工業(yè)檢測領(lǐng)域,高精度成像技術(shù)的重要性日益凸顯。X射線三維顯微鏡作為一種先進(jìn)的無損檢測工具,以其獨(dú)特的穿透能力和高分辨率成像特性,成為了材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)以及工業(yè)質(zhì)量控制等多個領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。X射線三維顯微鏡基于X射線與物質(zhì)相互作用時的吸收差異。當(dāng)X射線穿過物體時,不同密度和組成的材料會對X射線產(chǎn)生不同程度的衰減,這種衰減信息被探測器捕捉并轉(zhuǎn)化為電信號,最終通過計(jì)算機(jī)處理生成三維圖像。與傳統(tǒng)的二維X射線成像相比,三維顯微鏡能夠提供更為豐富的空間結(jié)構(gòu)信息,使得研究...

  • 202410-30
    XRM應(yīng)用分享 | 高分辨顯微CT檢測技術(shù)在生命科學(xué)領(lǐng)域的前沿應(yīng)用

    隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展,高分辨顯微CT(ComputedTomography)檢測技術(shù)作為一種非破壞性的三維成像技術(shù),在生命科學(xué)領(lǐng)域展現(xiàn)出了巨大的應(yīng)用潛力和價值。其不僅能夠?qū)崿F(xiàn)生物樣本的精確成像,還能提供豐富的生物學(xué)信息,為生命科學(xué)研究提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持。本文旨在探討高分辨顯微CT檢測技術(shù)在生命科學(xué)領(lǐng)域的前沿應(yīng)用,并分析其在推動科學(xué)進(jìn)步方面的作用。一、概述高分辨顯微CT檢測技術(shù)是一種基于X射線的高精度三維成像技術(shù),它結(jié)合了CT掃描與顯微鏡技術(shù)的優(yōu)點(diǎn),能夠在不破壞樣本的前提...

  • 202410-30
    XRD應(yīng)用分享 | 微焦斑高分辨XRD在電子器件領(lǐng)域的應(yīng)用——以PZT電容器為例

    微電子器件的功能在很大程度上取決于其晶體結(jié)構(gòu)。高分辨率X射線衍射(HRXRD)是一種無損分析技術(shù),能夠以亞納米級的精度研究晶體結(jié)構(gòu)-即使是在非環(huán)境或工作狀態(tài)下。使用實(shí)驗(yàn)室X射線衍射儀通過HRXRD研究這些微米級尺寸的器件極其具有挑戰(zhàn)性,因?yàn)樾枰皇∮谒P(guān)注結(jié)構(gòu)的X射線束。鋯鈦酸鉛(PZT)電容器在提高各種電子設(shè)備和系統(tǒng)的功能及性能方面起著至關(guān)重要的作用。由于其能夠在電能和機(jī)械能之間轉(zhuǎn)換,它們被用于需要高精度、控制和高效能量轉(zhuǎn)換的應(yīng)用中。典型的例子包括微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器...

  • 202410-30
    應(yīng)用分享|少子壽命測試儀(MDP)針對碳化硅器件性能優(yōu)化的關(guān)鍵作用

    1應(yīng)用背景在微電子半導(dǎo)體行業(yè)日新月異的現(xiàn)狀,材料質(zhì)量的提升與器件性能的優(yōu)化成為推動技術(shù)進(jìn)步的關(guān)鍵因素。碳化硅(SiC)作為一種新興的高性能半導(dǎo)體材料,以其優(yōu)異的導(dǎo)熱性、高擊穿電場強(qiáng)度及耐高溫特性,在電力電子、新能源汽車、航天航空等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。然而,碳化硅器件的性能優(yōu)化并非易事,其涉及到材料質(zhì)量、加工工藝、器件設(shè)計(jì)等多個層面的精細(xì)控制。在這個過程中,少數(shù)載流子壽命(少子壽命)作為評價半導(dǎo)體材料質(zhì)量的重要參數(shù)之一,其精確測量與深度分析顯得尤為重要。2儀器介紹德國弗萊...

  • 202410-25
    D8 X射線衍射儀:解鎖材料科學(xué)新境界?

    D8X射線衍射儀是一種基于X射線與物質(zhì)相互作用原理的精密儀器,它能夠揭示物質(zhì)內(nèi)部的晶體結(jié)構(gòu)信息。自從1895年倫琴發(fā)現(xiàn)X射線以來,這種神秘的光線便開啟了探索物質(zhì)世界的新紀(jì)元。X射線由于其波長與原子間距相當(dāng),當(dāng)其通過晶體時會發(fā)生衍射現(xiàn)象,這一特性為研究物質(zhì)內(nèi)部結(jié)構(gòu)提供了可能。D8X射線衍射儀的核心工作原理基于布拉格定律。當(dāng)X射線以特定角度射向晶體時,如果射線的波長與晶體中原子平面的距離滿足特定的數(shù)學(xué)關(guān)系,就會發(fā)生衍射增強(qiáng)。每一種晶體物質(zhì)都有自己獨(dú)特的衍射圖案,這些圖案就像是物質(zhì)...

  • 202410-25
    X射線顯微斷層成像系統(tǒng)的組成部件

    X射線顯微斷層成像系統(tǒng)是一種先進(jìn)的成像技術(shù),廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)和工業(yè)檢測等領(lǐng)域。這種系統(tǒng)通過結(jié)合X射線技術(shù)和計(jì)算機(jī)重建算法,能夠提供高分辨率的三維圖像,幫助研究人員和工程師深入了解樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。以下是對X射線顯微斷層成像系統(tǒng)組成部件的描述:1.X射線源X射線源是整個成像系統(tǒng)的核心部分,負(fù)責(zé)產(chǎn)生高能X射線束,這些射線穿透樣品后被探測器捕獲。常見的X射線源包括封閉管式和開放式兩種類型。封閉管式X射線源通常用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境,而開放式X射線源則適用于需要更高能量或更大工作空...

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